大气机械手SRBJ1A-AD4401
关键字导读： ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS CMP COATING CLEAN DETECT TRACK
描述：高洁净等级，高速传片，碰撞保护，Mapping，SEMI认证S2，F47，迎合个性化设计手指及接口用户可定制。
简介
Introduction
耦合传动、伺服驱动、洁净传动及润滑、SCARA手臂结构，具有占用空间小、大伸缩比、高精度、高洁净度等优点。迎合个性化设计，手指及接口用户可定制，网络化控制系统，高速传片效率和碰撞保护功能，SEMI认证S2、F47，MCBF大于1000万次。负责完成晶圆在FOUP、缓冲室、工艺位置等之间的自动传送。是半导体行业的优越之选择。
参数
Parameter
| 结构形式Mechanical Structure | 柱坐标型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA | |
|---|---|---|
| 负载Payload | 名称name | 晶圆wafer |
| 直径diameter | Φ200mm/Φ300mm | |
| 重量weight | ≤0.5kg | |
| 自由度数DOF | 4 | |
| 手数量Number of Arm | 2 | |
| 最大回转直径Maximum Swing diameter | 520mm | |
运动范围 Moving Range | 升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis | 450mm |
| 回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis | 350° | |
| 伸展轴 (R轴) Extension(Z)-Axis | R760mm | |
最大速度 Maximum Moving Speed | 升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis | 375mm/s |
| 回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis | 360° | |
| 伸展轴 (R轴) Extension(Z)-Axis | 1100mm/s | |
重复定位精度 Repeatability | 升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis | ±0.1 mm(3σ) |
| 回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis | ±0.01°(3σ) | |
| 伸展轴 (R轴) Extension(Z)-Axis | ±0.1 mm(3σ) | |
| 洁净度Clean Class | CLASS 1 | |
| 主机重量Body Weight | 70 kg | |
| 电源Power Supply | VAC 220V±10% | |
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